技术编号：28026945
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种多级气冷罗茨真空泵。背景技术.目前，为了满足以半导体、电子工业、化工业等为代表的制造工艺对无油的清沽真空的需要，越来越多的干式真空获得设备得以开发及广泛应用。多级是相对于传统愈义上的“单级”罗茨泵而言的，即在转子轴上串联多级罗茨型转子，各级转子由中间壁来隔离，形成相对独立的泵腔，各级泵腔之间通过上一级的进气口和下一级的排气口间的气流通道相连接。各级转子的直径和形状是相同的，而各级转子的宽度有时是不同的，向高压侧方向变窄了。被抽气体从第一级的进气口进...
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