技术编号：28077117
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统惯性器件的惯性测试装置【技术领域】.本发明涉及微机电系统器件的测试技术领域，尤其涉及一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置。【背景技术】.mems器件，是指具有微机电系统(micro‑electro‑mechanical system，mems)，且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，mems器件应用领域相当广泛，常见的产品例如mems加速度计、mems麦克风、mems光学传感器、mem...
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