技术编号:28077117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统惯性器件的惯性测试装置【技术领域】.本发明涉及微机电系统器件的测试技术领域,尤其涉及一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置。【背景技术】.mems器件,是指具有微机电系统(micro‑electro‑mechanical system,mems),且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件,其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前,mems器件应用领域相当广泛,常见的产品例如mems加速度计、mems麦克风、mems光学传感器、mem...
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