技术编号：2809491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种掩模坯料用基板的制造方法、掩模坯料的制造方法、 掩模的制造方法以及掩模坯料用基板。背景技术以往，在先端掩模制造中，引入对作为其材料的掩模坯料的质量进行 反馈的手段。例如，以往已知避开掩模坯料的缺陷部位而进行图案形成的方法(参照例如特开2001—33941号公报(专利文献l))。为了进行这样的反馈，需要识别各个掩模坯料。作为识别掩模坯料的 方法，以往已知形成用于识别或管理掩模坯料用玻璃基板的标识的结构或 在掩模坯料用玻璃基板的端面等上设置光学读...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。