技术编号:2810343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种哈特曼波前传感器,尤其是一种能够达到最大动态测量范围的光斑阵列排布可调的哈特曼波前传感器。现有的哈特曼波前传感器通常采用微透镜阵列-CCD探测器结构。1995年7月20日出版的《应用光学》34卷21期第4186页的“哈特曼和剪切干涉波前传感器的基本性能比较”(“Fundamental performance comparison of aHartmann and a shearing inteferometer wave-front sens...
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