光控制元件的制作方法技术资料下载

技术编号:2815998

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本发明涉及一种光控制元件,尤其涉及包括具有电光效应且厚度为10|im以下的薄板、形成于所述薄板的光波导、用于控制通过所述光 波导的光的控制电极的光控制元件。背景技术以往,在光通信领域和光测量领域中,多采用在具有电光效应的 基板上形成有光波导和控制电极的波导式光调制器和波导式光开关等 各种光控制元件。目前利用的光控制元件的方式大多在图1所示的厚 度0.5 lmm左右的光电晶体基板1上,形成光波导2、信号电极4和 接地电极5。另外,图1表示使用Z切LiNb03...
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