技术编号：2818234
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种透镜焦平面上聚焦光斑间的高分辨率、线性位移扫描方法。其特点是利 用透镜的面内运动控制其焦平面上的聚焦光斑的高分辨率、线性位移扫描。在光学测试与激 光精密加工领域具有重要应用价值。背景技术现代科学研究和光学加工、测试中常常会遇到利用透镜聚焦多束光，在其焦平面上获得 聚焦小光斑，并控制其中一个光斑在其它光斑周围扫描，以探测其它光斑激发样品(位于焦 平面上)所产生的某种效应的空间分布。如半导体中激光点激发电子的输运测量，激光点加 热样品的温度分布测...
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