技术编号:28184763
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及多线切割机设备技术领域,特别涉及一种多线切割机用主辊拆装小车。背景技术.多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。.目前,公开号为cn,公开日为年月日的中国专利公开了一种多线切割机用主辊,其包括主辊本体,主辊本体的圆周面上具有螺旋分布的线槽,线槽底部为两个对称设置的倾斜槽壁构成的...
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