技术编号:28185662
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及空气过滤技术领域,尤其是一种能够去除金属离子的风机过滤装置。背景技术.在半导体生产环境中一般通过风机过滤空气,将空气中的颗粒物吸附在过滤器中,从而达到净化空气的效果。.现有技术中,在半导体生产环境中存在部分酸碱气体(约ppb),普通风机过滤设备无法对其进行有效过滤,含酸/碱气体吹入设备内会携带部分金属离子进入,造成工艺不良。实用新型内容.本申请人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种能够去除金属离子的风机过滤装置,能够去除半导体生产环境中存在的酸碱气体和金属离子,减少工...
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