技术编号:28265255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及基板处理方法和基板处理装置。背景技术.在半导体器件和液晶显示装置等的产品的制造工序中,使用对基板进行 各种处理的基板处理装置。该基板处理装置包括向基板供给处理液的多个处 理单元、搬运基板的搬运单元以及控制这些的控制单元。处理单元向从搬运 单元一张一张地搬入的基板供给处理液,对基板一张一张地进行处理。若处 理单元对多个基板进行处理,则在处理单元的内部逐渐地积累污染(颗粒等)。 因此,在基板处理装置中,根据需要执行清洗处理单元的内部的单元清洗(例 如专利文献)。.为了进行该单元清...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。