技术编号:28348192
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于芯片封装设备检测辅助工具技术领域,具体涉及一种适用于芯片封装设备真空管路的泄露检测工具。背景技术.芯片,在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。.由于芯片产品本身的尺寸限制以及加工精度要求,在封装加工过程中封装设备常用真空管路作为对芯片进行吸附、移动的动力源,比如运动机械臂中的坦克链中有多根真空管路,其中任意一根管路泄漏都会对气路系统造成不同程度的影响,导致机器出现故障。现有技术中,在寻找泄漏点的时候,通常利...
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