技术编号:28410110
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及液晶面板生产加工设备技术领域,具体是一种阳极壁板的裸铝区域遮蔽装置。背景技术.在液晶面板生产过程中,通常会采用蚀刻气体去处理玻璃基板上生成的绝缘膜,因反应空间密闭,蚀刻气体不只会作用到基板的表面,同时也会向周边扩散,为了保护腔室,在实际生产过程中,通常会在腔室内安装一些耐腐蚀的部件,这种部件通常被称为阳极壁板。阳极壁板的主要成分为合金铝,其表面通过阳极氧化形成有一层氧化铝,这层氧化铝具有很高的耐腐蚀性能,从而有效的保护了腔室。.常规的阳极壁板是通过绝缘的螺丝锁附到腔室内壁上...
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