技术编号：28432565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于微电子技术领域，尤其涉及一种信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备。背景技术.由于光邻近效应（proximity effect）的存在，掩膜版明暗交界区域图形分辨率的提高面临诸多技术问题，当图形物理尺寸进一步减小并与光线波长相当时，这一问题尤为突出。.发明人研究发现，在进行显微观测时，以版图信息作为观测设备的脚本往往难以克服光邻近效应带来的影响，进而导致观测失效。.如图-所示，是现有技术中量测失效的示例，将结合本发明内容做对比说明。发明内容.本发明公开了一种工...
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