技术编号:28458828
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用属于芯片扩散设备技术领域,具体是一种用于芯片扩散设备循环冷却装置。背景技术.芯片扩散设备是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。.专利文件cna,公开的一种芯片加工设备,具体涉及芯片加工领域,包括底座、第一支撑架和第二支撑架,且第一支撑架和第二支撑架均位于底座上方,所述第一支撑架和第二支撑架之间设置有移动加工机构和盒盖上料机构,所述移动加工机构包括转动圆柱、外套筒...
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