技术编号：2849764
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种等离子体处理装置及其电感耦合线圈，将电感耦合等离子体处理装置中，原先使用的单匝螺旋线圈结构，改变为具有若干组包含多个1/2、1/4或1/6等圆环的环段，并对这些环段的连线方式做了改进，以使该线圈上径向相邻环段的射频电流方向相反，则反应腔室内产生的等离子体在晶圆上方沿径向的分布更为均匀，能够适应对更大直径的晶圆进行处理。专利说明等离子体处理装置及其电感耦合线圈[0001]本发明涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种电感耦合线圈及设置有该电感耦合线...
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