技术编号：2850886
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种结构简单、操作方便的极低能、大面积、小散角、大动力学范围可调的极小束流电子束装置，包括依次设置的带栅极和引出极的电子枪、第一单电位透镜、第二单电位透镜和两个栅网；两个栅网之间形成减速间隙；所述第一和第二单电位透镜之间设有导向偏转板，第一单电位透镜在两对偏转板之间聚焦成像，所述第二单电位透镜的焦点位于该成像处。本发明的低能电子束装置，在整个飞行路程中束始终保持在高能量状态，从而避免了极低能量束在外磁场干扰下的严重偏移和各种二次效应的影响；此外...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。