技术编号：28542992
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及氧化物高阻隔膜镀膜设备技术领域，具体涉及一种新型等离子体增强化气相沉积氧化物高阻隔膜放电结构。背景技术.近年来，以聚酯膜（pet）为基底、氧化物（siox）涂层为阻隔层的第三代氧化物高阻隔性包装材料已经开始批量生产，并广泛应用于食品、药品包装，以及电子产品（oled、opv）封装、真空绝热板（vip）、食品/药品包装、新型医疗器械等领域。siox高阻隔膜包装材料产量和用量逐步增大，据预测，随着siox镀膜设备、工艺技术的不断完善、产品成本的进一步降低，siox高阻隔膜包装材料...
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