技术编号：2857071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及确定RF传输线上的变量的值的方法和系统，具体描述了用于确定射频（RF）传输模型上的变量的值的系统和方法。所述方法之一包括识别在RF发生器的输出位置测得的复电压和电流并基于在耦合到所述RF发生器的阻抗匹配电路中所定义的电气元件生成阻抗匹配模型。该方法进一步包括从所述阻抗匹配模型的输入穿过一个或多个元件以及穿过耦合到所述阻抗匹配模型的RF传输模型的部分的一或多个元件传送所述复电压和电流以确定在所述RF传输模型的部分的输出位置的复电压和电流。专利说明确...
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