技术编号:28591917
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于金刚石单晶生长的mpcvd装置技术领域.本发明属于微波等离子体辅助化学气相沉积领域,具体涉及一种用于金刚石单晶大面积、高速率、长时间生长的微波等离子体辅助化学气相沉积装置。背景技术.微波等离子体辅助化学气相沉积(mpcvd)法是当前最为流行,也是最有前景的大尺寸高品质金刚石单晶外延生长方法。该方法是通过将微波发生器产生的微波经过波导管导入特殊设计的反应腔体中发生谐振,产生频率和强度分布的电磁场,以此将反应腔体内的气体原料(通常为h和ch混合气体)进行激发,在样品台上产生均匀且稳定的等...
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