技术编号:28624429
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明提出的一种提高体声波滤波器制备良率的方法和结构,属于薄膜滤波器技术领域。背景技术.薄膜体声波谐振器是个人无线通信技术的快速发展而出现的一种新的射频器件技术。它具有极高的品质因数q值和可集成于ic芯片上等优点,然而,在薄膜体声波谐振器制备过程中,由于顶电极的设计常出现横向模式上的杂波,导致薄膜体声波谐振器的良品率较低的问题发生。虽然,专利cn提出了将改变顶电极边界线由直线改为弧线的方式,降低杂波的产生,但是通过实际应用来看,改进后的顶电极结构相比于原有不存在平行线结构...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。