一种扩散泵泵体结构的制作方法技术资料下载

技术编号:28636290

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.本实用新型涉及扩散泵技术领域,具体为一种扩散泵泵体结构。背景技术.扩散泵是目前获得高真空的最广泛和最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。现在生产的油扩散泵抽速已达到l/s以上,扩散喷射泵的抽速也达l/s,蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。尽管有许多其它类型的抽气方式也可以在高真空领域工作,但由于扩散泵结构简单、操作和维护方便、使用寿命长和对各种气体均有较好的抽气特性,因而它一直是获得高真空的主要抽气设备。目前市场上...
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