技术编号：28676383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及玻璃涂胶领域，特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。背景技术.对玻璃进行匀胶是一种普遍的玻璃处理方式，特别是针对半导体硅片，在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。匀胶保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。但是目前的匀胶器具主要是针对圆形的玻璃硅片设计的，针对异型玻璃硅片匀胶机构存在以下问题：.（）无剩胶清洗剂流道，匀胶后多余的胶水没有流道可以排走，使剩胶容易堆集在玻璃边缘，不易清理，严重影...
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