技术编号:28690752
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体芯片表面灰尘清除装置技术领域,具体为一种半导体芯片表面灰尘清除装置。背景技术.半导体芯片是在半导体片材上进行浸蚀、布线,制成的能实现某种功能的半导体器件,不只是硅芯片,常见的还包括砷化镓、锗等半导体材料,在半导体芯片加工的同时,往往需要对其表面进行清理,以保证其质量。.现有技术中的半导体芯片表面灰尘清除装置在使用时,毛刷辊轴向转动对半导体芯片表面进行刷动的同时不可横向往复刷动,进而导致对半导体芯片的清理效果不佳,灰尘与芯片的脱离不够彻底,影响芯片的使用质量,同时不可同...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。