技术编号：28740536
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。布置在处理室中的基板处理设备及其操作方法.本申请是申请号为.的发明专利申请的分案申请。技术领域.本发明涉及布置在处理室中的基板处理设备及其操作方法。背景技术.在这部分描述的公开内容仅仅提供与发明相关的背景信息，并不构成现有技术。.一般而言，通过在基板上执行多种半导体处理以沉积并层叠为具有期望形状的结构而制造半导体存储装置、液晶显示设备、有机发光设备以及类似设备。.半导体处理的示例包括在基板上沉积指定薄膜的处理、对所述薄膜的选定区域进行曝光的光刻处理、以及从所述...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。