技术编号:28856120
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及加热器领域,具体涉及一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。背景技术化学气相沉积,简称CVD(Chemical vapor deposition),是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质,在中温或高温条件下,在衬底表面上进行化学反应以生成薄膜的方法,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。化学气相沉积(CVD)装置的反应器,通过电加热器加热。加热器的加热丝为不锈钢丝,为了防止工艺气体与不锈钢中的镍反应,需将加热丝密封在铝板中。但现有技术中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。