技术编号:28918766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光学元件制备技术领域,尤其涉及一种偏振信息转化或复制拼接方法。背景技术.激光直写是制作衍射光学元件的主要技术之一,它利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后便在抗蚀层表面形成要求的浮雕轮廓,制作精度可以达到亚微米量级。.通常激光直写的效率比较低,如何提高衍射光学元件的制作效率成为当前的研究热点。发明内容.本发明目的在于公开一种偏振信息转化或复制拼接方法,以提高衍射光学元件的制作效率并确保产品的可靠性。.为达上述目的,本发明公开一种偏振信息转化或拼接方法...
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