技术编号:28922153
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光学精密测量技术领域,尤其涉及一种利用激光同时测量多自由度几何误差的方法与系统。背景技术.随着精密制造、加工与装配技术的发展,对物体在运动中的六自由度几何误差、或者物体在静止时六自由度几何误差的变化量的测量精度要求不断提高。.现有技术中的一种测量六自由度几何误差方法包括:采用激光干涉仪,激光干涉仪是单参数测量,每次安装调整测量一种误差分量,每个测量过程需要使用不同类型的测量附件和重新调整干涉仪。.上述现有技术中的测量六自由度几何误差方法的缺点为:光路结构复杂,采取多个探测器对...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。