技术编号:28950559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及控制技术领域,特别涉及一种应用于蚀刻机静电吸盘的控制方法及供电电源。背景技术.目前,在现有技术中,静电吸盘吸附抓取物体时,只是对静电吸盘和被抓物体之间可能存在的摩擦力进行限制消除,从而保证静电吸盘在消除摩擦影响的情况下尽可能的达到最大吸附作用,这种技术存在通过静电吸盘吸附物体不精确的问题,例如在发明cn-一种控制静电吸盘吸力的方法中和morita y,okumura n,nakanishi t.electrostatic chuck and the ...
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