技术编号：28952390
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及真空泵技术领域，具体涉及一种测温装置及方法。背景技术.分子泵是一种高速旋转机械设备，利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体分子获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。广泛应用于工业检漏、化学气相沉积、真空电子器件制造、光学镀膜以及电子束焊接等多个领域。.随着应用产业越来越多的工艺负载需求，分子泵运行的可靠性及实时状态监测也越来越重要，尤其是对分子泵的实际温度的非接触式实时监测越来越重要。发明内容.有鉴于此，本申请实施例致力于提供一种测温装置及方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。