光电倍增管的制作方法技术资料下载

技术编号:2895325

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本发明涉及检测来自外部的入射光的光电倍增管。 背景技术一直以来,利用了微细加工技术的小型光电倍增管的开发不断取得进展。已知的有,例如在透光性的绝缘基板上配置有光电面、倍增极以及阳极的平面型光电倍增管(参 照下述专利文献1)。利用这样的结构,可以高可靠性地检测出微弱光,并且也可以实现装置 的小型化。然而,在如上所述的现有的光电倍增管中,各级倍增极被配置在由绝缘基板以及 罩(cap)部件构成的箱体的绝缘基板上,随着通过各级倍增极的二次电子面之间而轨道有 所扩大...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用