技术编号：28955871
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及通过一个或多个扫描带电粒子束(诸如扫描电子显微镜或多束扫描电子显微镜)来检查样本的设备和方法。背景技术.这种设备或方法例如在us / a中公开。该专利申请描述了一种设备，其包括：带电粒子列，其用于将一个或多个带电粒子束聚焦到样本上并扫描；以及光子检测器，特别是多像素光子检测器，其布置成当所述一个或多个带电粒子束撞击在样本上时或在所述一个或多个带电粒子束透射通过样本之后，检测由所述一个或多个聚焦的带电粒子束产生的光子。该设备还包括光学组件，用于将由所述一个或...
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