技术编号：2896136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用处理气体来化学蚀刻工件的装置及方法。 背景技术几十年来，已经知道在等离子体蚀刻工件时，能够通过光发射中的变化来检测蚀 刻已切割穿过第一层并且到达下面层的点，所述光发射中的变化由所生成并随后由等离子 体离子化的排出或反应产物的变化而产生。终点也能够通过蚀刻气体的消耗量的变化来检 测，该蚀刻气体的消耗量也可以通过光学方式检测。最初，由熟练的技术员来监测这些发 射。后来，使用光学终点检测器使得该工艺自动化。基于第一部分的方法的终点工艺仅仅只能...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。