真空排气装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2897441

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本发明涉及一种具有制品的排气口的封闭机构的真空排气装置(日语真空排気 、y ν)。背景技术在等离子显示面板等的制造工序中,需要将制品内部的空气排成真空、根据需要 封入气体、封闭制品的排气口的作业。为了实现高真空,需要边对制品进行加热边抽真空。 作为封闭排气口的方法,有将安装于排气口的接头管熔断的方法和利用热溶融性的粘接剂 (熔融金属等)将封闭构件(盖)粘接于排气口的方法。专利文献1至3中所记载的那样的真空排气装置中,通过紧贴制品的排气口周围 而形成有封闭的...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用