技术编号：2904033
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于真空，涉及ー种加热装置及等离子体加工设备。背景技术随着电子技术的快速发展，生产企业间的竞争越来越激烈，这就要求生产企业不断地提高其产品质量以应对激烈的市场竞争。众所周知，生产设备的加工性能是影响产品质量的主要因素之一。例如，LED(发光二极管)刻蚀机的加工性能就影响着LED光源的质量。LED刻蚀机在进行刻蚀的エ艺过程中，其反应腔室内会产生很多副产物，这些副产物对衬底的刻蚀质量和刻蚀机的寿命都会产生不利影响。为此，人们在反应腔室内设置了 内衬以及加...
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