技术编号:29047996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明的实施方式涉及用于支撑基板的载物台、具有载物台的成膜装置或膜加工装置,以及用于控制基板的温度的方法。背景技术.半导体器件搭载于几乎所有的电子设备,对电子设备的功能起到重要的作用。半导体器件是利用硅等所具有的半导体特性的器件,并通过在基板上层叠各种图案化的半导体膜、绝缘膜、导电膜而构成。这些膜利用蒸镀法、溅射法、化学气相沉积(cvd)法或者基板的化学反应等而形成,并通过光刻工艺进行加工(图案化)。.上述膜的特性很大程度上取决于形成膜时或者图案化时的条件。其中之一是基板的温度。在许多情...
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