技术编号：2907261
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有捕获从离子源的下游一侧流入离子源的电子的磁场产生部件的离子源。背景技术在离子注入装置、离子掺杂装置或离子束定向装置等离子束照射装置的离子源中，使用了被称为引出电极系统的、由多个电极构成的电极组，用于把离子束引出。在专利文献I的图2中公开了这样的引出电极系统的例子。在此，作为构成引出电极系统的电极，使用了等离子体电极、引出电极、抑制电极及接地电极等四个电极。等离子体电极决定引出的离子束的能量，引出电极用于在引出电极与等离子体电极之间产生电位差，...
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