技术编号：29085213
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明实施例涉及化学技术领域，尤其是一种氮化镓垂直结型场效应管的制备方法。背景技术.经过了半个多世纪的发展，si材料为代表的电力电子器件己经发展到了很成熟的阶段，其性能随着结构设计和制造工艺的不断完善而接近由材料特性决定的理论极限，同时还发现其性能的提升获取相同的收益，所付出的成本越来越高，而且现代电力电子技术对高频率、低损耗、大功率的需求己经无法通过单纯的性能提升来满足了。而宽禁带半导体材料的出现突破了电力电子的发展瓶颈，其器件拥有高耐压、高温、高工作频率能力，拥有很好的发展前景。宽禁带...
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