技术编号:29113132
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于半导体搬运技术领域,更确切的说涉及晶圆传送盒搬运领域,尤其涉及一种智能机台及搬运系统。背景技术.现阶段生产过程中晶圆传送盒(foup)的经停位置主要有存储格位、量测机台、加工机台等,分别用于foup盒的存储、晶圆量测和晶圆加工等,而当天车在运行中对于晶圆传送盒中晶圆,或者晶圆传送盒本体在特殊情况需要暂时隔离出来时,没有专门暂存设备对晶圆传送盒进行接收,和/或并在需要时重新传输到天车上。.基于以上本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。发明内容.本实用新型的主要目的是克服现...
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