技术编号:29116628
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及测量仪器技术领域,具体为一种芯片外观参数测量台仪器。背景技术.随着电子技术的迅速发展,电子芯片的检测技术需求也在快速提升,电子芯片的外观参数测量,也成为了电子芯片检测技术的重要组成部分。常规的电子芯片外观参数测量方式比如机械卡尺测量,测量速度慢,并且芯片结构精密,容易被机械装置损伤。常规光学外观参数测量设备虽然不需要固定芯片,但是仍需要将芯片放置在坚硬的平台上,芯片底部一般有较为细密的针脚,坚硬平台容易损伤针脚,并且针脚结构有大量细小缝隙,容易进灰难以清理。实用新型内容.本...
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