技术编号:29135559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体结构的制作方法及半导体结构。背景技术.动态随机存储器(dynamic random access memory,简称dram)是一种高速地、随机地写入和读取数据的半导体存储器,被广泛地应用到数据存储设备或装置中。其中,动态随机存储器包括重复设置的多个存储单元,每个存储单元均包括一个晶体管和一个电容器,电容器通过电容接触区、电容接触结构与晶体管的源、漏极连接。随着电子产品日益朝向轻、薄、短、小发展,动态随机存取存储器组件的设计也朝着符合高集成度、高...
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