技术编号:29164610
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及一种用于存储载具的装置和一种存储载具的方法。更具体地,本公开涉及用于分别将容器存储于架子上的装置和分别将容器存储于架子上的方法。背景技术.通常,用于制造半导体设备的多个半导体处理装置被依次布置以在半导体基板上执行各种处理。半导体处理装置对其执行半导体设备制造处理的诸如半导体基板之类的物体能够以容纳在容器中的状态被供应至各半导体处理装置中,或者能够以容纳在容器中的状态从各半导体处理装置收回。容器的示例包括前开式晶圆传送盒(以下称为foup,front opening unified...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。