技术编号：29210272
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种非晶贵金属ruox/zno mems氢气传感器的制备方法技术领域.本发明涉及氢气传感器技术领域，具体地说是一种非晶贵金属ruox/zno mems氢气传感器的制备方法。背景技术.h是一种无色无味的气体，由于其对环境的影响相对较低，因此被认为是一种有吸引力的替代能源和可持续能源载体，然而h分子的泄漏当超过一定的临界浓度时会引起严重的爆炸和极其致命的，开发合适的传感器来确定和控制产生、运输、储存和利用过程中的h含量变得越来越重要和紧迫。.传统的气体传感器通常由贵金属(如pd、au、r...
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