技术编号:29214112
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及显示面板领域,特别涉及一种应用于真空溅射设备的基板承载装置。背景技术.液晶显示器具有低辐射、低功耗以及体积小等特点,逐渐成为显示器件的主流,广泛应用在手机、笔记本电脑、平板电视等产品上。随着面板尺寸逐渐增加,像素分辨率要求提高,越来越多的生产线应用更大型的真空溅射设备,以应对更大尺寸的成膜需求。同时,由于基板不断薄化的趋势,其在大型真空溅射设备的大气翻转单元的承载平台针阵上的弯曲量越大;另一方面,由于成本考量,设备的节拍时间越来越短,各机构单元的动作越来越快,从而导致基板破损的机...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。