技术编号：2921888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及具有需要真空腔的内部结构的微器件组件，更具体地，涉及具有用于保持内部结构周围腔体内真空的细粒吸气剂层的微器件组件。背景技术 通过微机电系统(MEMS)技术制造的微器件正在许多领域中发挥着重要作用。例如，微机械陀螺仪在交通和商业应用中实现了几种重要的控制系统。其它由MEMS技术制造的微器件，例如压力传感器，加速计，激励器和谐振器也在许多领域使用。一些微器件，例如微型陀螺仪和谐振器，包含需要在真空密封腔内保持的微结构。对于这些类型的器件，需要不断...
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