技术编号:29253495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种间接加热型ge-sb-te基相变射频开关及其制备方法.技术领域.本发明涉及相变射频开关制备技术领域,具体地说,是具有工艺简单、成本低、开关速度快、体积小、寿命长、结构简单、易与 cmos 集成以及易封装等优点的间接加热型ge-sb-te基相变射频开关及制备方法。背景技术.随着电子科技的不断发展,微波射频开关在军用雷达、通讯和电子对抗等领域以及民用通信系统中发挥出越来越重要的作用。一方面,在当代电子战争时代,为了实现通信信号通道的切换,同时为了防止繁杂的电磁环境的干扰,对于开关速度和功率...
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