技术编号：29260289
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于内共振锁频的mems谐振式传感器技术领域.本发明涉及mems(micro electromechanical systems，微型机械电子系统)技术领域，特别涉及一种基于内共振锁频的mems谐振式传感器。背景技术.mems因其体积小、功耗低和精度高的特性被广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家科技发展和国防安全的关键技术。其常见的产品包括mems加速度计、mems光学传感器、mems压力传感器、mems湿度传感器、mems气体传感器等。其中谐振式传感器因其结构简单，应用场景多受到广...
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