技术编号：29301352
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体生产辅助设备技术领域，特别是一种用于晶圆异常检测的点墨装置。背景技术.在半导体生产中，随着晶圆的尺寸增大以及元件的尺寸缩小，一片晶圆可依需要划分为数千个相同或不同的晶粒。由于制程设计或材料本身的特性，最后完成的晶圆具有正常晶粒及缺陷晶粒。一般是以测试机台来测试晶圆上每一个晶粒，以确保晶粒的电气特性与效能符合设计规格。在测试过程中若发现缺陷晶粒则需进行标记，包括以墨水喷涂于缺陷晶粒上，方便后续取出该不合格品。.现有技术中的点墨单元，具有单独的带动引墨线沿着导引座内壁上下...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。