技术编号：29332416
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体为一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机。背景技术.芯片在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备和被动组件等）小型化的方式，并时常制造在半导体的表面上，在芯片加工的过程中，通常需要对芯片的表面进行刻蚀，而芯片的刻蚀是按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术，且刻蚀液只需对芯片的裸露部位进行刻蚀即可，刻蚀机工作过程中刻蚀液刻蚀芯片会产生一定的不良气体，但是现有的刻蚀机大多不具备空气净化功能，所以这种气体会对刻...
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