技术编号：29338866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及电子元件生产装备领域，特别是涉及一种破真空定量阀。背景技术.随着半导体行业的迅速发展，电子元件越来越趋于小型化，各种微小型超轻型零件的需求越来越多。由于零件体积越来越小，在生产和装配过程中对设备的拾取动作和释放动作的要求也越来越高。目前对于此类微小型和超轻型零件的拾放一般通过真空吸盘完成，但是在由于零件太轻，容易在吸盘释放零件时因为破真空的气量太大导致零件从释放位置吹飞，而破真空气量太小，零件又无法及时脱离。实用新型内容.本实用新型主要解决的技术问题是提供一种破真空定量阀，...
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