技术编号：2933896
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于泄漏检测应用的质谱仪，尤其，涉及具有高灵敏度的质谱仪。背景技术氦质谱仪泄漏检测是众知的泄漏检测技术。使用氦作为示踪气体，它在密 封测试件中通过时的泄漏最小。然后把氦抽到泄漏检测仪器和对其进行测量。 氦的量对应于泄漏率。仪器的重要部件是检测和测量氦的质谱仪。质谱仪使输 入气体离子化并且进行分析，以便分离氦成分，然后对其进行测量。在一个方 法中，使测试件的内部与泄漏检测器的测试端口耦合。使氦喷射在测试件的外 部，通过泄漏在内部抽取，并且通过泄漏检...
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