技术编号：2933934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种形成光刻系统的4笨针，该光刻系统用于4吏用"接通，，和"断开，，记录策略(strategy)在目标表面(诸如晶片)上投影映像图形，从而在包括栅格单元的栅格上划分所述图形，在 每个栅格单元中所述探针被"接通"或"断开"。背景技术这些具有所谓的黑白记录策略的系统在现有4支术中是众所周 知的，并且例如可以是以激光器为基础的，并且以使用直接记录装 置为特征，因此被称做无掩模系统。通过将所述探针转换为接通或 断开，每个4册格单元相应;也或^^己录或不i...
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